基本原理

下図はChromatic Confocal Sensor（色収差を用いた共焦点）を用いた高さ計測の実験系である。
白色光源から出た光がDOEと呼ばれる軸上色収差を持つ回折レンズを通過する。このとき波長ごとに
軸上方向で異なる高さに集光する。対象物からの反射光はビームスプリッタから分光器のほうへ導入
される。対象物表面上で完全に集光した波長のみがスリットで完全に結像するため、
分光することでピーク波長を算出し高さを判定できる。




では、次にそのスリット前の強度分布の計算を考える。
計算の詳細は回折強度分布に記載しておく。



Zが焦平面からのずれ量（デフォーカス量）、ｒは