はじめに


　精密計測において、従来は１次元的な長さや寸法の測定から、２次元的な面形状計測へと需要が広がってきた。最近では３次元的な形状を測定することが産業界における重要な課題になっている。光三次元計測を大きく分類すると接触方式と非接触方式とがある。それぞれの特徴は、


　

プローブ方式	特徴	欠点
接触	位置座標を機械の動作スケールで読み取ることによって決定する	１）.繰り返しの接触によりプローブ性能の劣化や寿命 ２）.軟物体への計測 ３）.接触をきらう測定サンプル ４）.接触できない物体形状 ５）.一点ごとの計測のため時間がかかる ６）.表面の色やテクスチャなどの情報
非接触	光を利用した方式	方式ごとに欠点が異なるため後述